气流→初效空气处理→空调→中效空气处理→风机送风→净化管道→******送风口→洁净室→带走尘埃（******）→回风夹道→新风、初效空气处理。
重复以上过程，即可达到净化目的。
二、洁净室技术参数
换气次数：十万级10－15次/小时；万级15－25次/小时；千级50－52次/小时;百级操作台断面风速0.25-0.35m/s。
压差：主车间对相邻房间≥5Pa。
温度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；
相对湿度：45－65％（RH）；噪声≤65dB（A）；新风补充量：总送风量的20％－30％；
照度：≥300Lux。
